如果將氦(He)nai(Ne)激光作為1代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆痥e(KrF)激光,可稱為第三代激光。激體分析儀是基于半導(dǎo)體激光吸收光譜(DLAS)技術(shù)的激體分析系統(tǒng),能夠在各種環(huán)境(尤其是高溫、高壓、高粉塵、強(qiáng)腐蝕等惡劣環(huán)境下)進(jìn)行1氣體濃度等參量的在線測(cè)量。目前掌握激光甲1烷氣體探測(cè)芯片生產(chǎn)制造技術(shù)的國家主要是加拿大、美國、日本、挪威等甲1烷激體傳感器芯片大規(guī)模量產(chǎn),也意味著將實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代進(jìn)口芯片。





現(xiàn)在激體分析儀除了半導(dǎo)體激光吸收光譜(DLAS)就只有激體分析儀(RLGA)了吧。因?yàn)榘雽?dǎo)體激光吸收光譜原理跟紅外線氣體分析儀的是一樣的,只不過是在紅外線的基礎(chǔ)上改善了一些。近年來,隨著互聯(lián)網(wǎng)與物聯(lián)網(wǎng)的高速發(fā)展,氣體傳感器在新興的智能家居、可穿戴設(shè)備、智能移動(dòng)終端等領(lǐng)域的應(yīng)用突飛猛進(jìn),大幅擴(kuò)展了應(yīng)用空間。對(duì)于激光1氣體傳感器來說,每個(gè)氣體都對(duì)特定的頻率的光有吸收作用。這樣,光這個(gè)頻率的光經(jīng)過該氣體時(shí),因?yàn)楸晃樟耍怨鈴?qiáng)(能量)就會(huì)降低,反之,沒有被吸收的話,能量就沒有降低。
金屬激光焊接主要使用惰性(不活潑)氣體。 惰性氣體與基體材料不反應(yīng)或很少反應(yīng)。二氧化碳激體產(chǎn)生的激光切割非常靈活:跟沖模相比,激光切割可以加工非常復(fù)雜的工件,加工不同的工件時(shí)不需要重新做模具,只需要在程序上設(shè)計(jì)好圖紙,就可以加工出來,完全做到所見所得。激體檢測(cè),基于可調(diào)諧二極管激光光譜技術(shù)(TDLS),為排放監(jiān)控及過程控制等應(yīng)用提供測(cè)量許多具有挑戰(zhàn)性氣體的解決方案。

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